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在IC芯片制作范畴中，等离子体处置手艺已经是一种不可替换的成熟工艺，不管在芯片源离子的注入，仍是晶元的镀膜，亦或是咱们的高温等离子体外表处置装备所能到达的：在晶元外表去除氧化膜、有(机)物、去掩膜等超污染处置及外表活(化)进步晶元外表浸润性。
等离子体处置
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