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双基片布局下的3559新濠天地网站 ：
       利用园柱谐振腔式MPCVD装配能经由过程加强堆积压力来晋升等离子体密度，在基片台上完成金刚石膜的疾速发展。转变石英管地位、腔体布局、调谐板矫捷水平等体例到达加强功率密度的结果。把石英管设在堆积台下方，晋升谐振腔中调谐板与调谐活塞挪动规模的方式，来完成减小7158澳门新濠 净化，晋升堆积速度的结果。

        7158澳门新濠 内基团的绝对谱线强度可以或许反应出气体的离解水平，同时也是金刚石堆积速度和品质的主要身分，上基片台作为尖部在微波电磁场中电场强度大，四周的离子产生猛烈活动，并不时与其余粒子产生碰撞，使等离子体密度加强。高H谱线强度申明双基片布局劣等离子体能产生浓度更高的H自在基，H自在基能刻蚀sp'C和石墨等非金刚石相，加强堆积金刚石的品质。
        比拟于双基片布局，单基片台下各个地位基团强度都非常靠近，申明双基片台布局具备会聚等离子体的感化，能使各基团向基片台规模内挨近，在基片台规模内平均性好，而基片台规模外则平均性差，而单基片台平等离子体的会聚感化则较弱，等离子体加倍发散。
       另外在双基片布局下，跟着甲烷浓度晋升，C2基团强度回升加倍明显，能有用进步金刚石堆积速度；双基片布局下的3559新濠天地网站 电子温度更低，外部粒子间的碰撞更加猛烈，且电子温度随气压回升而下降。