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等离子处置系统手艺增进了半导体资料和光学产业出产的疾速成长趋向,并被遍及利用于紧密的机械装备、汽车产业、新动力手艺、航天航空、净化管理等浩繁高新科技行业。等离子处置系统等离子洗濯工艺的关头是高温等离子体的利用,高温等离子体关头借助高温、高频次、高能等内部前提形成,是一种气体状物资,具有中性化、高能、电离气体。高温等离子体的动能约为几十电子伏特,在此中带有离子、电子、自在基和别的特异活性顆粒,及其紫外线等物资,这类顆粒便于与净化物资份子布局反映在资料外表上,使之分手出来,是以可被清算。由于高温等离子体比高能射线的能量低很多,是以这个方法只触及到原资料的表层,不轻易影响到资料的板材特征。
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