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对双基片台外表的改性有甚么结果：
金刚石有着强的硬度、热导率、化学不变性及其光学反射率等物理和化学机能，这些优良机能，使得金刚石在很多范畴都能够作为一种抱负资料。比方能够用作电子束引出窗口、高频高功率电子器件、高活络的外表声学波滤波器、切削东西等。
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化学气相堆积(MPCVD)金刚石停止正当性制备，MPCVD法制金刚石的上风变得非常较着，天下高端金刚石根基上都是经由过程MPCVD与其余发展方式比拟，MPCVD法令缘由具备无极放电、发展速度快、金刚石杂质少等长处，已成为金刚石发展的抱负方式。
最近几年来，MPCVD手艺取得了较大冲破，对金刚石堆积工艺参数影响的切磋已趋于成熟，但对MPCVD装配谐振腔的研讨还有待进一步深人。微波谐振腔是MPCVD该装配的焦点部件和差别射频真空等离子体洗濯机的微波谐振腔布局会影响电场的强度和散布，从而影响等离子体的状况，并响应地影响钻石堆积的品质和速度。MPCVD装配微波谐振腔的布局切磋对金刚石发展方面也是有着代价的。
经常利用的MPCVD法发展金刚石所用的谐振腔有不锈钢谐振腔式和石英钟罩式，石英钟罩式利于发展大面积的金刚石薄膜，但速度较慢且轻易净化石英管，而不锈钢谐振腔式装备则有着发展速度快的特色。
