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半导体封装行业，包含集成电路、分立器件、传感器和光电子的封装，经常会用到金属材质的引线框架，为进步键合和封塑的靠得住性，普通会把金属支架过澳门新濠官方网址3559 处置几分钟，以断根外表的无机物、净化物，增添其可焊性、粘接性。但偶然候咱们会发明，金属支架在澳门新濠官方网址3559 的真空情况下处置不妥，轻易呈现外表变色、发黑，严峻的乃至是烧板等景象。莫非是由于腔体外面氛围不抽清洁，剩余氛围中氧份子被激起，构成氧等离子体与金属外表产生化学反映而构成氧化的成果？缘由会是如许吗？

1 澳门新濠官方网址3559 真空度对产物洗濯结果和变色的影响

澳门新濠官方网址3559 真空度接洽关系身分包含真空腔体漏率、背底真空、真空泵的抽速和工艺气体的进气流量等。真空泵抽速快，背底真空值越低，申明外面残留的氛围越少，铜支架与氛围外面的氧等离子体反映的机遇就越少；当工艺气体进入，构成的等离子体能够充实与铜支架反映，不被激起的工艺气体能够把反映物带走，铜支架洗濯结果会好，不轻易变色。

2 澳门新濠官方网址3559 电源功率对产物洗濯结果和变色的影响

澳门新濠官方网址3559 电源功率接洽关系身分包含能量功率巨细和单元功率密度。电源功率越大，等离子体能量就越高，对产物的外表轰击力越强；划一功率的情况下，处置的产物数目越少，单元功率密度就越大，洗濯的结果就越好，但有能够会构成能量过大，板面变色或烧板。

3 澳门新濠官方网址3559 电场散布对产物洗濯结果和变色的影响

澳门新濠官方网址3559 的等离子电场散布接洽关系身分包含电极布局、气体流向和金属产物的摆放地位等相干。差别处置资料、工艺须要和产能请求，对电极布局的设想是不一样的；气体流向会构成一个气场，平等离子体的活动、反映、平均性城市有影响；产物的摆放地位，会影响到电场和蔼场特征，致使能量分派不平衡，部分等离子密渡过大而烧板。

除以上几个身分外，理论证实澳门新濠官方网址3559 的处置时候、电源频次、载具范例等对产物的处置结果和变色也是有影响的。